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J-GLOBAL ID：200902080087324694   整理番号：89A0239727

生産用イオン注入器,Nissin NH-20SR

Production implanter Nissin NH-20SR.
著者 (6件)：
TAMURA Y

TAMURA Y について

(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)

Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN について

, 
NOGAMI M

NOGAMI M について

(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)

Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN について

, 
TANAKA M

TANAKA M について

(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)

Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN について

, 
MAEDA T

MAEDA T について

(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)

Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN について

, 
KUMASAKI H

KUMASAKI H について

(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)

Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN について

, 
TAMURA S

TAMURA S について

(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)

Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN について


資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について


巻： 37/38  ページ： 620-623  発行年： 1989年02月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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中位電流イオン注入器,Nissin NH-20SRを開発した...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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イオン注入

イオン注入 について

,...
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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イオン注入器

イオン注入器 について

, 
Nh

Nh について


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