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J-GLOBAL ID：200902080100188177   整理番号：86A0158609

イリジウム-半導体系での化合物形成の初期段階 電界イオン顕微鏡による界面原子構造の研究

Initial stages of iridium-semiconductor compound formation: A field-ion-microscope study of interface atomic structures.

著者 (3件)： LIU H F (Pennsylvania State Univ.) ,  LIU H M (Pennsylvania State Univ.) ,  TSONG T T (Pennsylvania State Univ.)
資料名： Physical Review Letters  (Physical Review Letters)
巻： 56  号： 1  ページ： 65-68  発行年： 1986年01月06日 
JST資料番号： H0070A  ISSN： 0031-9007  CODEN： PRLTAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ir表面におけるIrSiおよびIrGe薄膜層の形成の初期段階...

シソーラス用語： イリジウム ,...
準シソーラス用語： FIM【顕微鏡】

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分類 (2件)： 半導体-金属接触【’81~’92】  (BM03073E) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (6件)： イリジウム ,  初期段階 ,  電界イオン顕微鏡 ,  界面 ,  原子構造 ,  研究