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J-GLOBAL ID：200902080585095937   整理番号：88A0435163

窒素添加軟磁性Feスパッタ膜の構造と磁気特性

Structural and soft magnetic properties of nitrogen added iron film prepared by sputter-deposition.

著者 (2件)： 木島薫 (ソニー 情報処理研) ,  本多直樹 (ソニー 情報処理研)
資料名： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 12  号： 2  ページ： 317-320  発行年： 1988年04月 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 0285-0192  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： rf二極スパッタ法により作製した窒素添加軟磁性膜について検討...

シソーラス用語： 軟磁性材料 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の磁性  (BM06060P)

引用文献 (4件)：

• 1) N. Terada, Y. Hoshi, M. Naoe, and S. Yamanaka: IEEE Trans. Magn., MAG-20, 1451 (1984).
• 2) 戸島,田子,柳沢,永井:信学技報,MR85, 21 (1985).
• 3) M. Kawarada, N. Koshino, and S. Ogawa: Digests of the Intermag Conf., (1987), ED-05.
• 4) 近角,太田,安達,津屋,石川編集:磁性体ハンドブック,朝倉書店 (1980), p. 541.

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒素添加 ,  軟磁性 ,  Fe ,  スパッタ膜 ,  磁気特性