プラズマ処理中におけるラスタレーザ光散乱研究 粒子汚染捕獲現象

SELWYN G S; HEIDENREICH J E; HALLER K L

文献

J-GLOBAL ID：200902081689577875 整理番号：92A0050694

プラズマ処理中におけるラスタレーザ光散乱研究粒子汚染捕獲現象

Rastered laser light scattering studies during plasma processing: Particle contamination trapping phenomena.

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巻： 9 号： 5 ページ： 2817-2824 発行年： 1991年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プラズマ処理中における粒子の分布と輸送を調べた。予測に反して...

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固体デバイス製造技術一般

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プラズマ処理中におけるラスタレーザ光散乱研究 粒子汚染捕獲現象

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