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J-GLOBAL ID：200902082055708442   整理番号：92A0179504

大気圧化学蒸着したアルミニウムをドープした酸化亜鉛の集合組織を持つ薄膜

Textured aluminum-doped zinc oxide thin films from atmospheric pressure chemical-vapor deposition.

著者 (2件)： HU J (Harvard Univ., Massachusetts) ,  GORDON R G (Harvard Univ., Massachusetts)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 71  号： 2  ページ： 880-890  発行年： 1992年01月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ヂエチルZn,トリエチルAlとエタノールの常圧混合ガスから3...

シソーラス用語： MOCVD ,...
準シソーラス用語： エタノール

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧化学蒸着 ,  アルミニウム ,  ドープ ,  酸化亜鉛 ,  集合組織 ,  薄膜