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J-GLOBAL ID：200902082475775439   整理番号：89A0254029

多層金属膜の界面歪と弾性応答との関係

Relationship between interfacial strain and the elastic response of multilayer metal films.

著者 (2件)： CLEMENS B M (General Motors Research Lab., MI, USA) ,  EESLEY G L (General Motors Research Lab., MI, USA)
資料名： Physical Review Letters  (Physical Review Letters)
巻： 61  号： 20  ページ： 2356-2359  発行年： 1988年11月14日 
JST資料番号： H0070A  ISSN： 0031-9007  CODEN： PRLTAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三種類の異なる多層膜系(Mo/Ni,Pt/NiおよびTi/N...

シソーラス用語： 金属薄膜 ,...
準シソーラス用語： 弾性軟化

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分類 (2件)： その他の半導体接合【’81~’92】  (BM03077U) ,  金属の音波物性  (BL02032L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 多層 ,  金属膜 ,  界面