電子線レジスト中の高速2次電子発生に関するモンテカルロ法によるシミュレーション

MURATA K; KYSER D F; TING C H

文献

J-GLOBAL ID：200902082629143724 整理番号：82A0250011

電子線レジスト中の高速2次電子発生に関するモンテカルロ法によるシミュレーション

Monte Carlo simulation of fast secondary electron production in electron beam resists.

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資料名：
巻： 52 号： 7 ページ： 4396-4405 発行年： 1981年07月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高速2次電子の発生状況を,モンテカルロ法を用いて計算している...

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電子ビーム・イオンビームの応用 , チャネリング,ブロッキング,粒子のエネルギー損失

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