有限立上げおよび下降電圧パルスのプラズマインマージョンイオン注入のモデル

STEWART R A; LIEBERMAN M A

文献

J-GLOBAL ID：200902083149886316 整理番号：91A0899105

有限立上げおよび下降電圧パルスのプラズマインマージョンイオン注入のモデル

Model of plasma immersion ion implantation for voltage pulses with finite rise and fall times.

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巻： 70 号： 7 ページ： 3481-3487 発行年： 1991年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プラズマ中に浸されたターゲットに繰返し高い負電圧を加えイオン...

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プラズマ応用

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