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J-GLOBAL ID：200902083212305094   整理番号：90A0638035

TiNi形状記憶合金の薄膜製造

Thin-film processing of TiNi shape memory alloy.
著者 (3件)：
WALKER J A

WALKER J A について

(AT & T Bell Lab., NJ, USA)

AT & T Bell Lab., NJ, USA について

, 
GABRIEL K J

GABRIEL K J について

(AT & T Bell Lab., NJ, USA)

AT & T Bell Lab., NJ, USA について

, 
MEHREGANY M

MEHREGANY M について

(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)

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資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

Sensors and Actuators. A. Physical について


巻： 21  号： 1/3  ページ： 243-246  発行年： 1990年02月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ニチノール形状記憶合金(SMA)薄膜の析出や製造は,成分や製...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ニチノール

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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微細機構

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  その他の金属組織学 
(WB01040Y)

その他の金属組織学 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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TiNi

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形状記憶合金

形状記憶合金 について

, 
薄膜

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