窒化けい素前駆体粉末のグロー放電による合成

HO P; BUSS R J; LOEHMAN R E

文献

J-GLOBAL ID：200902083662514068 整理番号：89A0558511

窒化けい素前駆体粉末のグロー放電による合成

Glow-discharge synthesis of silicon nitride precursor powders.

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巻： 4 号： 4 ページ： 873-881 発行年： 1989年07月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

シランとアンモニアより,ミクロン以下,非晶質の標題粉末合成に...

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荷電体衝撃・放電による反応

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