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J-GLOBAL ID：200902083779283148   整理番号：83A0039590

イオンプレーティングのための大電流,長寿命陰極の研究

著者 (1件)： 浦本上進 (名古屋大プラズマ研)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 25  号： 10  ページ： 660-670  発行年： 1982年10月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LaB₆が,大電流密度(40A/cm<...

シソーラス用語： イオンめっき ,...
準シソーラス用語： 陰極

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分類 (2件)： 電子源,イオン源  (BD02020U) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (6件)：

• 1) D. M. Goebel, J. T. Crow and A. T. Forrester : Rev. Sci. Instrum. 49,469 (1978).
• 2) J. Uramoto : Research Report of Institute of Plasma Physics, Nagoya University, Nagoya, Japan, IPPJ-406 (1979).
• 3) J. Uramoto, K. Ishii and Y. Kubota : IPPJ-448 (1980).
• 4) J. Uramoto : IPPJ-453 (1980).
• 5) J. Uramoto, Y. Kubota and A. Miyahara : IPPJ-440 (1980).

タイトルに関連する用語 (5件)： イオンプレーティング ,  大電流 ,  長寿命 ,  陰極 ,  研究