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J-GLOBAL ID：200902084519123569   整理番号：87A0418786

マイクロ波およびRFの周波数における表面波で維持されるプラズマ 実験的研究と応用

Plasmas sustained by surface waves at microwave and RF frequencies. Experimental investigation and applications.

著者 (2件)： MOISAN M (Univ. Montreal, Quebec, CAN) ,  ZAKRZEWSKI Z (Univ. Montreal, Quebec, CAN)
資料名： NATO ASI Series. B. Physics  (NATO ASI Series. B. Physics)
巻： 149  ページ： 381-430  発行年： 1986年 
JST資料番号： C0189B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無電極のマイクロ波および高周波放電の複雑な物理過程の理解は不...

シソーラス用語： プラズマ生成 ,...

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分類 (2件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ波 ,  RF ,  表面波 ,  プラズマ ,  実験的研究 ,  応用