X線リソグラフィー用双格子整合法

KINOSHITA H; UNE A; IKI M

文献

J-GLOBAL ID：200902085398058264 整理番号：84A0246557

X線リソグラフィー用双格子整合法

A dual grating alignment technique for x-ray lithography.

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資料名：
巻： 1 号： 4 ページ： 1276-1279 発行年： 1983年10月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

サブミクロンX線リソグラフィーのための高精度整合法として,マ...

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固体デバイス製造技術一般 , X線技術

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