Ronchi格子をぼけた状態で投影することで自動的に位相の測定を行う輪郭測定法

文献

J-GLOBAL ID：200902085571132831 整理番号：93A0114066

Automated phase-measuring profilometry using defocused projection of a Ronchi grating.

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資料名：
巻： 94 号： 6 ページ： 561-573 発行年： 1992年12月15日
JST資料番号： A0678B ISSN： 0030-4018 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

全電子部品素子化液晶テレビ(LCTV)を利用した位相測定輪郭...

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その他の光学的測定法とその装置

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