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J-GLOBAL ID：200902085639503973   整理番号：85A0117502

金属コーティングのホロー陰極マグネトロン・スパッタリング

Hollow cathode magnetron sputtering of metallurgical coatings.
著者 (1件)：
THORNTON J A

THORNTON J A について

(Univ. Illinois)

Univ. Illinois について


資料名：
Zeitschrift fuer Metallkunde  (Zeitschrift fuer Metallkunde)

Zeitschrift fuer Metallkunde について


巻： 75  号： 11  ページ： 847-854  発行年： 1984年11月 
JST資料番号： E0438A  ISSN： 0044-3093  CODEN： ZEMTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)
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