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J-GLOBAL ID：200902085889218980   整理番号：86A0293272

新しい膜厚測定法を用い三極管方式のスパッタリングで作った多層膜X線ミラー

Multilayer X-ray mirrors prepared by triode sputtering using a new method of film thickness monitoring.

著者 (4件)： SELLA C (Lab. Physique des Mat<span style=text-decoration:overline>e ́</span>riaux, CNRS, France) ,  YOUN K B (Lab. Physique des Mat<span style=text-decoration:overline>e ́</span>riaux, CNRS, France) ,  BARCHEWITZ R (Univ. P et M Curie, Paris) ,  ARBAOUI M (Univ. P et M Curie, Paris)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 36  号： 1/3  ページ： 121-123  発行年： 1986年01月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膜の付着速度のターゲット電流依存性を利用した膜厚測定法を用い...

シソーラス用語： タングステン ,...

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分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 膜厚測定 ,  三極管 ,  スパッタリング ,  多層膜 ,  X線ミラー