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J-GLOBAL ID:200902086123042879   整理番号:86A0318096

10-5個/cm3の濃度に対する気体ろ過装置

A gas filtration system for concentrations of 10-5 particles/cm3.
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 167-185  発行年: 1986年 
JST資料番号: H0030B  ISSN: 0278-6826  CODEN: ASTYDQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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半導体や医薬産業,宇宙技術などで求められる無じん空気の入手の...
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分類 (2件):
分類
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空気浄化  ,  集塵 
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