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J-GLOBAL ID：200902086352611704   整理番号：85A0241221

縮小投影露光装置FPA-1550

Stepper FPA-1550.
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著者 (2件)：
高橋一雄

高橋一雄 について

(キャノン光機開セ)

キャノン光機開セ について

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小杉雅夫

小杉雅夫 について

(キャノン光機開セ)

キャノン光機開セ について


資料名：
電子材料  (Electronic Parts and Materials)

電子材料 について


巻： 24  号： 3  ページ： 33-38  発行年： 1985年03月 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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標記装置の主な特長を述べる。縮小投影光学系に両側テレセントリ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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超LSI

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解像力

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
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縮小投影露光装置

縮小投影露光装置 について


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