文献

J-GLOBAL ID：200902086577499199   整理番号：91A0425436

クリーン環境用軸受

Bearing for clean circumstances.

著者 (1件)： 三宅正二郎 (日本工大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 57  号： 4  ページ： 599-604  発行年： 1991年04月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： クリーン環境の必要性,潤滑法,軸受の発塵について解説。半導体...

シソーラス用語： クリーンルーム ,...

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分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

引用文献 (32件)：

• 1) 精密工学会清浄気体中の駆動技術分科会編 : 清浄気体中の駆動技術, 理工企画, (1986).
• 2) 三宅正二郎 : 清浄環境におけるトライボロジー, 潤滑, 33, 2 (1988) 103.
• 3) 大見忠弘, 福田宗治 : 配管から防塵衣まで根本から見直し塵埃を追放したクリーン・ルーム, 日経マイクロデバイス (1986.9) 83.
• 4) 佐藤勇武 : 酸化鉄スパッタ薄膜磁気ディスク媒体のトライボロジ, 日本応用磁気学会誌, 11, 1 (1987) 22.
• 5) 川久保洋一 : 磁気ディスク媒体のトライボロジ, 日本応用磁気学会誌, 11, 1 (1987) 4.

タイトルに関連する用語 (3件)： クリーン ,  環境 ,  軸受