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J-GLOBAL ID：200902086724387520   整理番号：90A0845492

Fe-Zr-N薄膜の結晶構造と軟磁性

Crystal structure and soft magnetic properties of Fe-ZrN thin films.

著者 (4件)： 種子典明 (東北大 工) ,  深道和明 (東北大 工) ,  宮川長二 (東北大 科学計測研) ,  島田寛 (東北大 科学計測研)
資料名： 電気学会マグネティックス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MAG-90  号： 107-117  ページ： 1-10  発行年： 1990年09月17日 
JST資料番号： Z0924A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RFマグネトロンスパッタとDCマグネトロンスパッタにより作製...

シソーラス用語： 鉄合金 ,...

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分類 (1件)： 磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (5件)： Fe ,  Zr ,  薄膜 ,  結晶構造 ,  軟磁性