空気中での連続CO<sub>2</sub>レーザの照射による多結晶スパッタ蒸着Crフィルムの酸化

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文献

J-GLOBAL ID：200902087137378140 整理番号：87A0253358

空気中での連続CO₂レーザの照射による多結晶スパッタ蒸着Crフィルムの酸化

Oxidation of thin polycrystalline sputtered Cr films by c.w. CO₂ laser irradiation in air.

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資料名：
巻： 33 号： 8 ページ： 1073-1082 発行年： 1986年08月
JST資料番号： D0250A ISSN： 0030-3909 CODEN： OPACA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

多結晶Crがレーザ照射により比較的低温で安定なα-CrO<s...

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酸化物薄膜 , 薄膜成長技術・装置 , レーザの応用

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空気中での連続CO2レーザの照射による多結晶スパッタ蒸着Crフィルムの酸化

空気中での連続CO₂レーザの照射による多結晶スパッタ蒸着Crフィルムの酸化