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J-GLOBAL ID：200902087442513414   整理番号：86A0161921

X線露光装置用空気浮上式XYステージ I ステージ構成と位置決めの高速化について

Air bearing guided XY stage for X-ray lithography system. (1) Configuration of XY stage.

著者 (3件)： 辻道緒 (立石電機中研) ,  杉山定夫 (立石電機中研) ,  日戸興史 (立石電機中研)
資料名： Omron Technics  (Omron Technics)
号： 76  ページ： 285-291  発行年： 1985年12月28日 
JST資料番号： S0266A  ISSN： 0474-1315  CODEN： OMTKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： XY粗動および微動機構をともにリニアモータで駆動する粗微調一...

シソーラス用語： 回路パターン形成 ,...

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分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： X線 ,  露光装置 ,  浮上 ,  XYステージ ,  ステージ ,  高速化