MOCVDに応用するために改良したよどみ点流反応器の数学的表現

文献

J-GLOBAL ID：200902088051329089 整理番号：91A0302889

A mathematical representation of a modified stagnation flow reactor for MOCVD applications.

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巻： 108 号： 3/4 ページ： 491-498 発行年： 1991年02月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Showerhead型のガス分配器を採用した標題の反応器の動...

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半導体の結晶成長

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