接触式ラインセンサ

文献

J-GLOBAL ID：200902088165086747 整理番号：93A0192821

Contact Type Line Sensor for Examining Surface Topography.

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資料名：
巻： 112 号： 12 ページ： 757-762 発行年： 1992年12月
JST資料番号： S0810A ISSN： 0385-4221 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

表面の欠陥検査において,光学式では困難な表面凹凸の測定をする...

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圧電デバイス , その他の表面処理

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