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J-GLOBAL ID：200902088241948699   整理番号：90A0269239

インプロセス計測加工精度補償の研究(第2報) K-HIPOSSと平行板ばね式微小切込み工具台の応用

In-process measurement and workpiece-referred form accuracy control (2nd Report). The application of K-HIPOSS and a parallel leaf-spring micro-tool servo.

著者 (6件)： 内田出 (金沢大 工) ,  河野嗣男 (東京都科技大) ,  尾西隆 (金沢大 工) ,  岡崎祐一 (機械技研) ,  小沢則光 (機械技研) ,  竹内喜代松 (機械技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 56  号： 1  ページ： 134-139  発行年： 1990年01月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平行板ばね式微小切込工具台を改良して光学式微小変位計と組合せ...

シソーラス用語： 超精密加工 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (7件)：

• 1) 河野嗣男ほか : インプロセス計測加工精度補償の研究(第1報)加工面基準制御加工法の原理と基礎実験, 精密工学会誌, 54, 8, (1988), 1463.
• 2) T.Kohno et al, : High Precision Optical Surface Sensor, Appl. Opt. 27, 1, (1983), 103.
• 3) 内田出ほか : インプロセス計測加工精度補償の研究(第3報)K-HIPOSSと板ばね式工具台による実験, 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (1988), 437.
• 4) 岡崎祐一 : 圧電素子を用いた微小変位工具台, 精密工学会誌, 54, 7, (1988), 1375.
• 5) 橋本洋 : 光学部品の超精密加工技術, 精密機械, 52, 12, (1986), 2012.

タイトルに関連する用語 (9件)： インプロセス計測 ,  加工精度 ,  補償 ,  研究 ,  板ばね ,  微小 ,  切込み ,  工具台 ,  応用