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J-GLOBAL ID:200902088550704818   整理番号:91A0940088

熱膨張を利用したカンチレバーアクチュエータアレイ

Arrayed Cantilever Actuators based on Thermal Expansion.
著者 (2件):
資料名:
巻: 1991-B  ページ: 175-178  発行年: 1991年05月 
JST資料番号: L0318A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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異なった種類のポリイミドの残留応力と熱膨張率の差を利用して,...
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