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J-GLOBAL ID：200902088670833263   整理番号：90A0916285

シリコン上シリカ導波路とその集積光学部品への応用

Silica waveguides on silicon and their application to integrated-optic components.

著者 (1件)： KAWACHI M (NTT Opto-Electronics Lab. Tokai, Ibaraki, JPN)
資料名： Optical and Quantum Electronics  (Optical and Quantum Electronics)
巻： 22  号： 5  ページ： 391-416  発行年： 1990年09月 
JST資料番号： A0205A  ISSN： 0306-8919  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光ファイバ技術と超小形回路技術の結合によりシリコン上に光ファ...

シソーラス用語： 光スイッチ ,...
準シソーラス用語： 工作精度 ,...

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分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  シリカ ,  導波路 ,  集積 ,  光学部品 ,  応用