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J-GLOBAL ID：200902089522190481   整理番号：92A0269007

Al-Ge薄膜の共堆積中の相分離

Phase separation during co-deposition of Al-Ge thin films.

著者 (4件)： ADAMS C D (Univ. Michigan, Michigan) ,  ATZMON M (Univ. Michigan, Michigan) ,  CHENG Y-T (General Motors Research Lab., Michigan) ,  SROLOVITZ D J (Univ. Michigan, Michigan)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 7  号： 3  ページ： 653-666  発行年： 1992年03月 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 共堆積したAl-Ge薄膜の相分離と微細構造発展について,実験...

シソーラス用語： 電子ビーム蒸着 ,...
準シソーラス用語： 共蒸着

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： Al ,  Ge ,  薄膜 ,  堆積 ,  相分離