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J-GLOBAL ID：200902091119512449   整理番号：92A0406424

フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中不純物濃度測定法の標準化

Standardization of the Photoluminescence Method for Determining Impurity Concentrations in Si.

著者 (3件)： 田島道夫 (日本電子工業振興協) ,  桝井積 (日本電子工業振興協) ,  西野種夫 (日本電子工業振興協)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 39th  号： Pt 0  ページ： 1230  発行年： 1992年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： フォトルミネッセンス ,  シリコン結晶 ,  不純物濃度 ,  測定法 ,  標準化