異方性電気化学的パターンエッチングに対する物質移動の役割

ALKIRE R; DELIGIANNI H

文献

J-GLOBAL ID：200902091394277565 整理番号：88A0389768

異方性電気化学的パターンエッチングに対する物質移動の役割

The role of mass transport on anisotropic electrochemical pattern etching.

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巻： 135 号： 5 ページ： 1093-1100 発行年： 1988年05月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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固体デバイス製造技術一般

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