定常横磁場および縦磁場におけるCzochralskiのバルク流動の三次元シミュレーション  Si融液の流動と温度の分布に及ぼす影響

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文献

J-GLOBAL ID：200902091585194554 整理番号：87A0344864

定常横磁場および縦磁場におけるCzochralskiのバルク流動の三次元シミュレーション Si融液の流動と温度の分布に及ぼす影響

Three-dimensional simulations of the czochralski bulk flow in a stationary transverse field and in a vertical magnetic field: Effects on the asymmetry of the flow and temperature distribution in the Si melt.

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資料名：
巻： 82 号： 3 ページ： 318-326 発行年： 1987年03月02日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Czochralski結晶成長の三次元模型を作り,横磁場と縦...

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結晶成長技術・装置

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