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J-GLOBAL ID：200902092010213995   整理番号：87A0321334

蒸気の直流分解によって蒸着したコーティングの厚さの限界

Thickness limits for coatings deposited by direct-current cracking of vapors.

著者 (1件)： LUDWIG M (Univ. Arizona, AZ, USA)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 25  号： 22  ページ： 3977-3979  発行年： 1986年11月15日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 重合可能な分子の蒸気を通じて数mmA/cm<sup>2</s...

シソーラス用語： 蒸着膜 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 蒸気 ,  直流 ,  分解 ,  蒸着 ,  コーティング ,  厚さ ,  限界