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J-GLOBAL ID:200902092916595933   整理番号:91A0537923

絶縁体上のシリコン「ゲート・オール・アラウンド・デバイス」

Silicon-on-insulator“gate-all-around device”.
著者 (5件):
資料名:
巻: 1990  ページ: 595-598  発行年: 1990年 
JST資料番号: C0829B  ISSN: 0163-1918  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シリコン膜の上下にゲート酸化膜とゲート電極を配置したSOI ...
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