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J-GLOBAL ID：200902093265479383   整理番号：87A0253387

高速度鋼基板にスパッタリングで付けた(Ti,Al)N膜の表面形態と諸性質に及ぼす蒸着温度とスパッタリングふん囲気の影響

Morphology and properties of sputtered (Ti,Al)N layers on high speed steel substrates as a function of deposition temperature and sputtering atmosphere.

著者 (4件)： JEHN H A (Max-Planck-Inst. Metallforschung, Stuttgart, DEU) ,  HOFMANN S (Max-Planck-Inst. Metallforschung, Stuttgart, DEU) ,  RUECKBORN V-E (Max-Planck-Inst. Metallforschung, Stuttgart, DEU) ,  MUENZ W-D (Leybold-Heraeus GmbH, Hanau, DEU)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 4  号： 6  ページ： 2701-2705  発行年： 1986年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： N₂とArの圧力を変え,Ti-50at...

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高速度鋼 ,  スパッタリング ,  Ti ,  Al ,  表面形態 ,  性質 ,  蒸着温度 ,  ふん囲気