文献
J-GLOBAL ID：200902093267793670 整理番号：91A0329604
マイクロマシン
Micro machine.
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著者 (1件)：
江刺正喜
江刺正喜 について
名寄せID(JGPN) 200901100544428880 ですべてを検索
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(
東北大 工
)
東北大 工 について
名寄せID(JGON) 201551000096670644 ですべてを検索
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資料名：
応用物理 (JSAP International)
応用物理 について
JST資料番号 F0252A ですべてを検索
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巻：
60
号：
3
ページ：
227-238
発行年：
1991年03月
JST資料番号：
F0252A
ISSN：
0369-8009
CODEN：
OYBSA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
文献レビュー
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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マイクロマシン(微小機械)は,小さくてしかも高度な働きをする...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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微細加工
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般
(NC03030V)
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引用文献 (42件)：
1) F. Harashima, ed.: Integrated Micro-Motion Systems-Micromachining, Control and Applications (Elsevier, Amsterdam, 1990).
2) 藤田博之:電気学会誌 110, 289 (1990).
3) 江刺正喜:電気学会誌 107, 681 (1987).
4) K. Peterson: Proc. IEEE 70, 420 (1982).
5) 江刺正喜:電気学会誌 110, 203 (1990).
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