文献

J-GLOBAL ID：200902094484530854   整理番号：92A0217216

ミリスケールSTMの開発

Development of a millimeter-scale STM.

著者 (3件)： 清野さとし (東北大 工) ,  鎌田治 (東北大 工) ,  SHAN X (東北大 大学院)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 58  号： 546  ページ： 425-430  発行年： 1992年02月 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ミリスケールの走査域を持ち,通常の粗さ計と類似の環境で使用で...

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=92A0217216&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• (1) Kohno, T.,ほか3名, Applied Optics, 27,(1988), 103-108.
• (2) Binnig, G. and Rohrer, H., IBMJ. RES, & DEVELOP., 30-4(1986), 355.
• (3) 津田•ほか4名,精密工学会誌, 55-1(1989), 146.
• (4) Teague, E. C., J. Vac. Sci. Techol. B 7(6)1898, (1989).
• (5) 清野•ほか4名,設計工学会誌, 26-10(1991), 493.

タイトルに関連する用語 (3件)： スケール ,  STM ,  開発