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J-GLOBAL ID：200902094526241483   整理番号：89A0005923

シリコン微小素子の走査電子顕微鏡下でのその場破壊試験

Fracture testing of silicon microelements in situ in a scanning electron microscope.

著者 (4件)： JOHANSSON S (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  SCHWEITZ J-A (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  TENERZ L (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  TIR<span style=text-decoration:overline>E ́</span>N J (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 63  号： 10  ページ： 4799-4803  発行年： 1988年05月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン片持ち梁の標記試験をこの目的に特に設計した装置で行っ...

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  微小素子 ,  走査電子顕微鏡 ,  破壊試験