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J-GLOBAL ID：200902096784778915   整理番号：91A0600405

反応性ダイオードrfスパッタリングによって作製したFe/FeN多層膜の軟磁性

Soft magnetic properties of Fe/FeN multilayer films prepared by reactive diode rf sputtering.

著者 (5件)： PIERRE F (Lab. Electronique Philips, Limeil-Brevannes, FRA) ,  BOHER P (Lab. Electronique Philips, Limeil-Brevannes, FRA) ,  HOUDY P (Lab. Electronique Philips, Limeil-Brevannes, FRA) ,  DIRNE F W A (Philips Research Lab., Eindhoven, NLD) ,  DE WIT H J (Philips Research Lab., Eindhoven, NLD)
資料名： Journal of Magnetism and Magnetic Materials  (Journal of Magnetism and Magnetic Materials)
巻： 93  ページ： 131-135  発行年： 1991年02月 
JST資料番号： H0644A  ISSN： 0304-8853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： これらの膜の結晶学的特性および磁性について,良好な軟磁性が得...

シソーラス用語： 鉄 ,...

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分類 (1件)： 金属結晶の磁性  (BM06040T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 反応性 ,  ダイオード ,  RFスパッタリング ,  作製 ,  Fe ,  多層膜 ,  軟磁性