文献

J-GLOBAL ID：200902098588264540   整理番号：89A0010150

r.f.プラズマにおける電子温度のリップル

Ripple of electron temperature in r. f. plasmas.

著者 (3件)： TAKEDA S (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  HAYASHI Y (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  MORI H (Chubu Univ., Kasugai, JPN)
資料名： Journal of the Physical Society of Japan  (Journal of the Physical Society of Japan)
巻： 57  号： 9  ページ： 3036-3042  発行年： 1988年09月 
JST資料番号： G0509A  ISSN： 0031-9015  CODEN： JUPSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記の温度がd.c.プラズマのまわりで振動することにより,エ...

シソーラス用語： 電子温度 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=89A0010150&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0509A") }}

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

引用文献 (9件)：

• 1) S. C. Brown: Introduction to Electrical Discharges in Gases (1966) Chap. 14, p. 226.
• 2) G. de Rosny et al.: J. Appl. Phys. 54 (1983) 2272.
• 3) R. A. Gottscho et al.: J. Appl. Phys. 55 (1984) 2707.
• 4) P. Bletzinger and C. A. DeJoseph, Jr: IEEE Trans. Plasma Sci. PS-14 (1986) 124.
• 5) G. A. Hebner and J. T. Verdeyen: IEEE Trans. Plasma Sci. PS-14 (1986) 132.

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマ ,  電子温度