文献
J-GLOBAL ID：200902099599161978
整理番号：81A0193475
光ヘテロダイン表面形状測定
Optical heterodyne profilometry.
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著者 (1件)：
資料名：
巻：
20
号：
4
ページ：
610-618
発行年：
1981年02月15日
JST資料番号：
B0026B
ISSN：
1559-128X
CODEN：
APOPAI
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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表面形状を非接触で1Åオーダの高さの感度で測定可能な表記方法...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
干渉測定と干渉計
, 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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