13.56MHz以上の周波数における静電容量結合グロー放電

SURENDRA M; GRAVES D B

文献

J-GLOBAL ID：200902099686274304 整理番号：91A0923542

13.56MHz以上の周波数における静電容量結合グロー放電

Capacitively coupled glow discharges at frequencies above 13.56MHz.

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巻： 59 号： 17 ページ： 2091-2093 発行年： 1991年10月21日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

平行平板電極間のグロー放電のパーティクル・イン・セル/モンテ...

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気体放電

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