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J-GLOBAL ID:200902100275296119   整理番号:01A1028795

Kr(Plasma refillig coeficient)の適正値は0.5~1.7程度である

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巻: 12  号:ページ: 102  発行年: 2001年08月 
JST資料番号: L2770A  ISSN: 0919-3847  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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