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J-GLOBAL ID:200902100276216860   整理番号:95A0860847

III-V族化合物半導体薄膜の相平衡についての熱力学的解析

Thermodynamic Analysis on Phase Equilibria of Thin Film in III-V Alloy Semiconductors.
著者 (3件):
資料名:
巻: 14th  ページ: 141-144  発行年: 1995年07月 
JST資料番号: L2543A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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相平衡と熱化学的情報とを結合させて,GaAs(100)上ある...
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分類 (2件):
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固体デバイス材料  ,  半導体の結晶成長 
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