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J-GLOBAL ID：200902100354260251   整理番号：94A0067727

ぜい性材料の超精密研削技術の研究 超精密研削装置の試作

Development of Ultraprecision Grinding Equipment for Ductile Mode Grinding of Brittle Materials.

著者 (5件)： 阿部耕三 (新日本製鉄) ,  安永暢男 (東海大 工) ,  宮下政和 (足利工大) ,  吉岡潤一 (日進超精密技術研) ,  大東聖昌 (日進機械製作所)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 59  号： 12  ページ： 1985-1990  発行年： 1993年12月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： デバイスの高集積化に伴い,シリコンウエハにはより高い形状精度...

シソーラス用語： 精密研削 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

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分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (13件)：

• 1) K. E. Puttick, M. R. Rudman, K. J. Smith, A. Franks and K. Lindsey : Single-Point Diamond Machining of Glasses, Proc. Roy. Soc. Lond., A 426, (1989) 19.
• 2) 宮下政和 : ぜい性材料の延性モード研削加工技術精密工学会誌, 56, 5 (1990) 782.
• 3) T. A. Dow and R. O. Scattergood : Ductile/Brittle Transition and Development of Ductile Mode GrindingTechnology, 精密工学会誌, 56, 5, (1990) 794.
• 4) P. A. McKeown, K. Carlisle, P. Shore and R. F. J. Read : Ultra-Precision, High Stiffness CNC Grinding Machines for Ductile Mode Grinding of Brittle Mate.rials, 精密工学会誌, 56, 5, (1990) 806.
• 5) J. Yoshioka F. Hashimoto, M. Miyashita, A. Kanai, T. Abo and M. Daito : Ultraprecision Grinding Technology for Brittle Materials, ASME PED-vol. 16, (1985) 209.

タイトルに関連する用語 (4件)： ぜい性材料 ,  精密研削 ,  研究 ,  試作