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J-GLOBAL ID：200902100591853950   整理番号：03A0647191

プラズマ異常放電監視装置の開発

The development of the plasma abnormal discharge monitor.

著者 (9件)： 児玉昭和 (NEC九州) ,  岡村浩治 (NEC九州) ,  八坂三夫 (東京カソード研) ,  竹下正吉 (東京カソード研) ,  上杉文彦 (NEC評価技術開発本部) ,  守屋剛 (NEC評価技術開発本部) ,  宗雲幹久 (ポシブルハーツ) ,  宮川隆二 (熊本県工技セ) ,  萩原宗明 (電子応用機械技術研)
資料名： 熊本県地域結集型共同研究事業「超精密半導体計測技術開発」 第2回技術シンポジウム資料 平成13年
ページ： 31-38  発行年： 2001年 
JST資料番号： N20031479  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造の前工程プロセスではプラズマを応用した製造装置が基...

シソーラス用語： *半導体プロセス ,...
準シソーラス用語： 放電監視

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ中の電磁波  (BJ02032F)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  放電 ,  監視装置 ,  開発