高周波マグネトロンスパッタリング成長させたZnO/α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>の光ルミネセンスへの結晶粒サイズ効果

KIM K-K; SONG J-H; JUNG H-J; CHOI W-K; PARK S-J; SONG J-H

文献

J-GLOBAL ID：200902100645396207 整理番号：00A0437070

高周波マグネトロンスパッタリング成長させたZnO/α-Al₂O₃の光ルミネセンスへの結晶粒サイズ効果

The grain size effects on the photoluminescence of ZnO/α-Al₂O₃ grown by radio-frequency magnetron sputtering.

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巻： 87 号： 7 ページ： 3573-3575 発行年： 2000年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

サファイア(0001)基板にrfマグネトロンスパッタリング成...

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酸化物薄膜 , 無機化合物のルミネセンス

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高周波マグネトロンスパッタリング成長させたZnO/α-Al2O3の光ルミネセンスへの結晶粒サイズ効果

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