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J-GLOBAL ID:200902100831229140   整理番号:02A0118583

微小成形

Microforming.
著者 (5件):
資料名:
巻: 50  号:ページ: 445-462  発行年: 2001年 
JST資料番号: E0026A  ISSN: 0007-8506  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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微小成形技術の現状を調査した。部品の微細化は材料、製作プロセ...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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