TiAlN/CrN超格子皮膜のCrN層厚さの関数としての構造と応力

文献

J-GLOBAL ID：200902101252866070 整理番号：00A0085562

Structure and stress of TiAlN/CrN superlattice coatings as a function of CrN layer thickness.

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資料名：
巻： 116/119 ページ： 284-291 発行年： 1999年09月
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

TiAlN/CrN超格子皮膜を3個のターゲットを用いた操向ア...

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