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J-GLOBAL ID:200902101310575707   整理番号:99A0923109

半導体材料・プロセスの物理と設計 半導体への不純物ドーピング

Doping in semiconductors.
著者 (1件):
資料名:
巻: 68  号:ページ: 1054-1059  発行年: 1999年09月10日 
JST資料番号: F0252A  ISSN: 0369-8009  CODEN: OYBSA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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半導体工学における最も本質的な概念であり,最も重要な技術であ...
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分類 (2件):
分類
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半導体の格子欠陥  ,  不純物・欠陥の電子構造 
引用文献 (34件):
  • PHILLIPS, J. C. Bands and Bonds in Semiconductors. 1973
  • HARRISON, W. A. Electronic Structure and Properties of Solids:The Physics of Chemical Bonds. 1980
  • KOHN, W. Solid State Phys. 1957, 5, 257
  • KOHN, W. Phys.Rev. 1955, 98, 915
  • BALDARESCHI, A. Phys.Rev. 1974, B9, 1525
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