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J-GLOBAL ID：200902101819192190   整理番号：98A0871189

シリコンウエハ加工プロセスの高い生産性を支援する オリフラ合わせ機WA-8S

Wafer Pre-aligner WA-8S.

著者 (1件)： 斉藤武 (エス・ジーインスツルメンツ)
資料名： Readout  (Readout)
号： 17  ページ： 48-49  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： L0745A  ISSN： 0915-9916  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 紹介的記事  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： WA-8Sは,オリフラ・ノッチの位置決め,センタ出しを高速に...

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,...
準シソーラス用語： ロボット搬送

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコンウエハ ,  加工プロセス ,  支援 ,  オリフラ